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번호 분류 이미지 기기명 기기약어 상태
36 구조분석

원이색분광광도계

(Circular Dichroism Spectroscopy)

기기약어CD

상태정상

CD

정상

35 표면분석

원자현미경

(Atomic Force Microscope)

기기약어AFM

상태정상

AFM

정상

34 기타

웨이퍼 본딩 시스템

(Wafer Bonding System)

기기약어W2W Bonder

상태정상

W2W Bonder

정상

33 기타

웨이퍼 얼라이닝 시스템

(Wafer Aligning System)

기기약어Mask Aligner

상태정상

Mask Aligner

정상

32 기타

웨이퍼급속열처리(진공오븐)시스템

(Rapid Thermal Annealing System)

기기약어RTA

상태수리

RTA

수리

31 기타

웨이퍼식각기시스템(마스크클리너, 습식)

(Wet Station)

기기약어WETST

상태정상

WETST

정상

30 표면분석

위상변조타원분광기

(Ellipsometer)

기기약어엘립소미터

상태정상

엘립소미터

정상

29 기타

유도결합 플라즈마 식각장비

(Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etcher)

기기약어ICP RIE

상태정상

ICP RIE

정상

28 성분분석

유도결합플라즈마원자방출분광기

(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer)

기기약어ICP-AES or ICP- OES

상태정상

ICP-AES or ICP- OES

정상

27 성분분석

유도결합플라즈마질량분석기1

(Inductively Couples Plasma Mass Spectrometer)

기기약어ICP-MS

상태수리

ICP-MS

수리

26 성분분석

유도결합플라즈마질량분석기2

(Inductively Couples Plasma Mass Spectrometer)

기기약어ICP-MS

상태정상

ICP-MS

정상

25 표면분석

유도결합플라즈마화학기상증착장비

(ICP CVD)

기기약어ICP CVD

상태정상

ICP CVD

정상