| 30 |
표면분석 |
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위상변조타원분광기
(Ellipsometer)
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엘립소미터 |
정상
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| 29 |
기타 |
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유도결합 플라즈마 식각장비
(Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etcher)
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ICP RIE |
정상
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| 28 |
성분분석 |
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유도결합플라즈마원자방출분광기
(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer)
기기약어ICP-AES or ICP- OES
상태정상
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ICP-AES or ICP- OES |
정상
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| 27 |
성분분석 |
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유도결합플라즈마질량분석기1
(Inductively Couples Plasma Mass Spectrometer)
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ICP-MS |
수리
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| 26 |
성분분석 |
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유도결합플라즈마질량분석기2
(Inductively Couples Plasma Mass Spectrometer)
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ICP-MS |
정상
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| 25 |
표면분석 |
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유도결합플라즈마화학기상증착장비
(ICP CVD)
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ICP CVD |
정상
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| 24 |
3D |
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이동형 원거리 3차원 레이저 스캐너
(Mobile Long Range 3D Laser Scanner)
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이동형 광대역 스캐너 |
정상
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| 23 |
표면분석 |
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이온빔연마기
(Ion Milling System)
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CP |
정상
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| 22 |
물성분석 |
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입도분석기(Nano Size)
(Nano particle Size Measurement System)
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PSA- Nano Size |
정상
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| 21 |
물성분석 |
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입도측정장치(Micro size)
(Particle distribution & Shape Analyzer)
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PSA-um |
정상
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| 20 |
물성분석 |
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자동열량계
(Auto Calorimeter)
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자동열량계 |
정상
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| 19 |
표면분석 |
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전계방사형주사전자현미경
(Field Emission Scanning Electron Microscope)
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FE-SEM |
정상
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