위상변조타원분광기

(Ellipsometer)

유도결합 플라즈마 식각장비

(Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etcher)

유도결합플라즈마원자방출분광기

(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer)

유도결합플라즈마질량분석기1

(Inductively Couples Plasma Mass Spectrometer)

유도결합플라즈마질량분석기2

(Inductively Couples Plasma Mass Spectrometer)

유도결합플라즈마화학기상증착장비

(ICP CVD)

이동형 원거리 3차원 레이저 스캐너

(Mobile Long Range 3D Laser Scanner)

이온빔연마기

(Ion Milling System)

입도분석기(Nano Size)

(Nano particle Size Measurement System)

입도측정장치(Micro size)

(Particle distribution & Shape Analyzer)

자동열량계

(Auto Calorimeter)

전계방사형주사전자현미경

(Field Emission Scanning Electron Microscope)